Dünnschicht-Beschichtungs- und Ätzlagen für Halbleiter (Silizium, III-V, II-VI), Magnetköpfe, Magnetsensoren, MEMS, Photonik, LED's, LD's, SAW-Komponenten, Mikrobolometer und andere neue Anwendungen der Nanotechnologie.



Nordiko 7000
Ionenstrahlätzanlage



Nordiko 7500
Ionenstrahlätzanlage



Nordiko 3400 Automatische Vakuum-beschichtungsanlage



i-Octave Ionenstrahl-beschichtungsanlage


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CANON ANELVA ENGINEERING

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